[VIP第1年] 指数:3
研究直流磁控反应溅射ITO膜过程中ITO靶材的毒化现象,用XRD、EPMA、LECO测氧仪等手段对毒化发生的机理进行分析,并对若干诱导因素进行讨论,研究表明ITO靶材毒化是由于In2O3。主相分解为In2O造成的,靶材性能及溅射工艺缺陷都可能诱导毒化发生.ITO薄膜作为一种重要的透明导电氧化物半导体材料，因具有良好的导电性能及光透射率广泛应用于液晶显示、太阳能电池、静电屏蔽、电致发光等技术中，用氧化铟+氧化锡烧结体作为靶材，直流磁控反应溅射法制备ITO薄膜与用铟锡合金靶相比，具有沉积速度快，膜质优良，工艺易控等优点成为目前的主流?但是，此法成膜过程中会经常发生ITO靶材表面黑色化，生成黑色不规则球状节瘤，本文称此现象为靶材毒化，毒化使溅射速率下降，膜质劣化，迫使停机清理靶材表面后才能继续正常溅射，严重影响了镀膜效率。溅射靶材开裂原因生产中使用的冷却水温度与镀膜线实际水温存在差异，导致使用过程中靶材开裂。海南光伏行业陶瓷靶材价钱
靶材开裂影响因素裂纹形成通常发生在陶瓷溅射靶材（如氧化物、碳化物、氮化物等）和脆性材料溅射靶材（如铬、锑、铋等）中。陶瓷或脆性材料目标始终包含固有应力。这些内应力是在靶材制造过程中产生的。此外，这些应力不能通过退火过程完全消除，因为它是这些材料的固有特性。在溅射过程中，轰击的气体离子将其动量传递给目标原子，为它们提供足够的能量来脱离晶格。这种放热动量传递增加了目标的温度，在原子水平上可能达到1，000，000摄氏度。这些热冲击将目标中已经存在的内部应力增加到许多倍。在这种情况下，如果不注意适当的散热，靶材可能会开裂。靶材开裂预防措施为了防止靶材开裂，重要的考虑因素是散热。一方面运用水冷机制来去除靶材中不需要的热能，另一方面考虑提高功率，在很短的时间内提升功率也会给目标带来热冲击。此外，建议将这些靶材绑定到背板上，这不仅为靶材提供支撑，而且还促进靶材与水之间更好的热交换。如果靶材破裂有背板加持的情况下，它仍然可以毫无问题地使用。中国澳门功能性陶瓷靶材一般多少钱如何制成良好的陶瓷靶材也是需要注意的地方。
江苏东玖光电科技有限公司，成立于2020年10月，业务范围是研发、生产、销售高性能陶瓷靶材、有色金属靶材、及合金靶材。
主营产品：ITO、IZO、IGZO、NiO、SnO、AZO、ZnO等氧化物陶瓷靶材；高纯铜、钼、钛、钽、铌、铝、锆、金、银、稀有金属等金属靶材，以及锌合金和铟合金等合金靶材。行业覆盖平面显示、光伏发电、触摸屏、智能玻璃、信息存储、能源存储等领域。
东玖科技致力于为我们的客户提供稳定、高性价比、一站式溅射靶材制造服务，协同合作伙伴的研发体系，合力推广新材料，新工艺，新技术的产业化应用。
从ITO靶材的发展趋势来看：1）大尺寸化，在需要大面积镀膜时，通常将小尺寸靶材拼接焊接成大尺寸靶材，由于具有焊缝，靶材镀膜质量将降低；2）高密度化，在溅射过程中ITO靶材表面会出现结瘤现象，如果继续溅射，所制备的薄膜光学性能以及电学性能将降低。高密度的靶材具有较好的热传导性以及较小的界面电阻，因此结瘤现象出现的概率较小，所制备的ITO薄膜的质量较高，且生产效率、成本较低；3）提高靶材利用率，由于平面靶材在溅射过程中，中间部分难以被侵蚀，因此靶材利用效率相对较低。通过改变靶材形状，可以提高靶材的利用效率，从而降低备ITO薄膜的成本。陶瓷靶材的制备工艺；
磁控溅射时靶材表面变黑我们可以想到的1、可能靶材是多孔的，（细孔）在孔中有一些有机污染物（极端可能性）；2、可能靶材有点粗糙，用纸巾用异丙醇擦拭，粗糙的表面在目标表面保留了一些细薄的组织纤维，这可能是碳污染的来源；3、沉积速率可能相当高，并产生非常粗糙的沉积物；4、基板与靶材保持非常接近，在目前的溅射条件下（功率、压力、子靶材距离）有一些发热，气体中有一些污染；5、真空室漏气或漏水，真空室内有挥发的成分，没有充入氩气，充入空气或其他气体，可能引起中毒，这些成分与靶材反应，变成黑色物质覆盖靶材表面。IGZO作为TFT沟道材料比多晶硅和非晶硅更符合显示器大尺寸化、高清、柔性和低能耗的未来发展趋势。海南显示行业陶瓷靶材咨询报价
冷等静压法制备ITO靶材优点。海南光伏行业陶瓷靶材价钱
靶材安装注意事项靶材安装过程中非常重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射腔体冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲，背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响，导致在溅射过程中热量无法散发**终会造成靶材开裂或脱靶。为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意要仔细检查和明确所使用溅射***冷却壁的平整度，同时确保密封圈始终在位置上。由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内，所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理，确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。有些阴极设计与阳极的空隙较小，所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体，否则会产生短路。海南光伏行业陶瓷靶材价钱
文章来源地址: http://huagong.m.chanpin818.com/taocioc/deta_23394058.html
免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的用户，本网对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。
