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配气准度要求以配气允差和分析允差来表征;比较通用的有SE2MI配气允差标准,但各公司均有企业标准。组分的**低浓度为10-6级,组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法,然后用色谱分析校核,也可按标准传递程序进行传递。3、电子气体(Electronicgases)：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4_6m+p-_4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。4.外延气体(Cpita***algases)：在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉。二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川乙烯标准气体批发
CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases)：在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。四川乙烯标准气体批发重庆乙烯标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
GB16163-1996)中，根据工业纯气在气瓶内的物理状态和临界温度进行分类，并按其化学性能，燃烧性、毒性、腐蚀性进行分组。第1类为长久气体，其临界温度〈-10℃，在充装时以及在允许的工作温度下储运和使用过程中均为气态，分为a、b两组：a组为不燃无毒和不燃**气体(包括氧、氮、氩等)，b组为可燃无毒和可燃**气体(包括氢等)。第2类为液化气体，其临界温度≥-10℃，包括高压液化气体和低压液化气体。其中，高压液化气体临界温度≥-10℃、且≤70℃，在充装时为液态，但在允许的工作温度下储运和使用过程中随着温度升高至临界温度时即蒸发为气态，分为a、b、c三组：a组为不燃无毒和不燃**气体(包括二氧化碳)；b组为可燃无毒和自燃**气体；c组为易分解或聚合的可燃气体。低压液化气体临界温度〉70℃，在充装时以及在允许的工作温度下储运和使用过程中均为液态，也分为a、b、c三组：a组为不燃无毒和不燃**及酸性腐蚀气体(包括氯)；b组为可燃无毒和可燃**及碱性腐蚀气体(包括氨)；c组为易分解或聚合的可燃气体。第3类为溶解乙炔。在压力下溶解于气瓶内溶剂的气体，*有a组：易分解或聚合的可燃气体(包括乙炔)。此分类是混合气配制的基础。工业混合气是近二十年来出现的新品种。
G:渗透管的渗透率(Lg/min);M:液体的摩尔质量(g/mol);Q:稀释气体的流量(L/min);VM:配气状态下气体的摩尔体积(L/mol)。标准气体配制方法编辑包括气体的发生,一定体积或一定质量物质的量取及用空气稀释至一定浓度等步骤。气体发生由于各种物质的物理、化学性质不同,它们的存在形式各异,因此,获得标准气体的方法也不相同。对于以液体状态存在的挥发性较大的物质,可利用液体的挥发作用来制取。此外,也可以利用化学反应来制取。用后一种方法所产生的气体常常含有杂质,需先用适当的方法除去杂质后,贮存到适当的容器中,测定浓度后备用。表1列出了一些常见气体的发生方法。740)"height=268>贮存无论用什么方法产生的标准气体,通常都要收集到适当的容器中保存。生产厂家一般都是将其压入钢瓶或玻璃钢瓶中,并用清洁气体稀释成一定浓度,作为商品出售。在生产车间或实验室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器临时保存。但要注意,被贮存的气体不能与容器发生化学作用,也不能通过器壁或缝隙漏掉。空气稀释用上述方法所获得的标准气体,浓度一般都比较大,不宜直接作为标准气体使用,而是把它作为原料气。四川标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
[2]标准气体配制分类编辑在火灾自动报警器、呼吸器、传感器和火灾现场易燃、易爆、**、有害气体快速检测仪器及其它消防产品的研究、开发和生产中,经常需要配制一系列物质的标准气体,用以对产品进行检测和校准;在火灾现场易燃、易爆、**、有害气体物质快速检测中,需要一定浓度的标准气体,作为制作标准色列或浓度标尺的标准;[3]在火灾原因调查中,研究和应用一种气态物证的分析鉴定方法时,需配制一定浓度的被检测物质的标准气体,以试验不同采样仪器的采样效率或不同吸收液的吸收效率和鉴定方法的准确性、可靠性。因此,配制一定浓度的标准气体是消防产品研究、开发、生产和消防工作的一个重要环节。而标准气体的配制又不同于液体标准物质的配制,有一定的难度。因此,本文将重点介绍几种所用仪器,设备简单,易于操作,特别适用于消防产品研制、生产和消防实际工作的标准气体的配制技术。标准气体是指气体状态的标准参比物质,包括高纯度标准气体和混合标准气体,配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。福建二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川乙烯标准气体批发
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